半自动化流程和机器人流程自动化（RPA）在功能、实现方式以及人工干预程度上存在一些显著的区别。

功能：半自动化流程通常是由计算机程序完成的，而RPA则是由自动化软件模拟人类行为方式的机器人完成的。这意味着RPA能够更深入地模拟人的操作，并在更广泛的场景下应用。

实现方式：尽管两者都是实现自动化流程，但它们的实现方式不同。RPA通过模拟人类在计算机上执行的操作，实现对规律性、重复性工作的自动化。而半自动化流程可能更多地依赖于固定的自动化程序，这些程序在某些情况下可能需要人工的干预。

人工干预程度：在半自动化流程中，人工的参与程度相对较高。人工可能需要设置参数、启动流程，并在流程执行过程中进行监控和干预。相比之下，RPA的目标是尽量减少人工干预，使流程能够自主、准确地完成。

半自动化流程和RPA在功能、实现方式以及人工干预程度上存在差异。选择哪种自动化方式取决于具体的业务需求、流程复杂性以及期望的自动化水平。